GB/T 47506-2026《洁净室及相关受控环境 微振动控制技术要求》-之一

    国家标准委发布了GB/T 47506-2026《洁净室及相关受控环境微振动控制技术要求》，文件规定了洁净室及相关受控环境微振动控制的方法和措施、材料、操作和检测，适用于洁净室生产、实验、测量用精密设备及仪器的微震动控制，包括天平、色谱仪、显微镜等。文件将于11月1日实施。

1 范围

    本文件规定了洁净室及相关受控环境微振动控制的方法和措施、材料、作业、检测和监测要求。
    本文件适用于洁净室及相关受控环境的微振动控制。

2 规范性引用文件

    本文件没有规范性引用文件。

3 术语和定义

    下列术语和定义适用于本文件。

3.1 微振动 microvibration
    影响精密设备或仪器正常运行的振动幅值较低的振动。
3.2 微振动控制 microvibration control
    为保证精密设备或仪器正常工作所采取的降低振动影响的方法和措施。
3.3 容许振动值 allowable value of vibration
    保证精密设备或仪器能正常运行的支承位置处最大振动限值。
3.4 主动隔振措施 active vibration isolation measure
    为减小振源对精密设备或仪器产生振动影响而对振源采取的隔振措施。
3.5 隔振器 vibration isolator
    具有隔离和衰减振动功能的支承元件。
3.6 隔振装置 vibration isolation device
    由隔振器 (3.5)、阻尼器、传感器、控制器、作动器、信号处理器、隔振台座等元器件形成的隔振组合体。
3.7 洁净室结构 cleanroom structure
    由洁净室地基基础、梁、板、柱、墙、支撑、围护等构件组成的体系。

4 一般要求

4.1 洁净室生产、实验、测量用精密设备及仪器的容许振动值应根据其技术要求确定。典型精密设备及仪器的容许振动值见附录 A。
4.2 洁净室结构、精密设备及仪器隔振装置的微振动控制要求应根据洁净室生产、实验、测量用精密设备及仪器的容许振动值或工艺要求确定。
4.3 应根据洁净室的微振动控制要求，识别出可能影响洁净室微振动环境的因素，并进行风险评估。
5 控制方法和措施
5.1 控制方法
    洁净室微振动控制方法如下：
    - 洁净室内部和外部振源可通过隔振或传递路径阻隔等方法进行；
    - 洁净室结构可通过增加质量、提高刚度、增加阻尼、设置吸振器等方法进行；
    - 精密设备及仪器可通过被动控制、主动控制、被动和主动混合控制隔振方法进行。
5.2 控制措施
5.2.1 振源控制
    洁净室内部和外部的振源控制采取以下措施：
    - 洁净室宜远离高铁、地铁、高速公路、重型机械制造厂房等强振源区域；
    - 可设置隔振沟、隔振屏障隔离洁净室外部的交通振动、施工振动；
    - 可设置隔振缝降低洁净室外部动力设备和管道的振动影响；
    - 可设置隔振垫、钢弹簧或空气弹簧等隔振装置隔离洁净室内部和外部的动力设备振动、管道振动；
    注：电子洁净厂房的动力设备和管道振动控制及隔振措施示例见附录 B。
    - 当空调机房、动力站房的动力设备和管道运行产生的噪声较大时，宜铺设浮筑板、采用吸声墙板和吸声吊顶等减小噪声和振动；
    - 动力设备宜集中分区布置，远离洁净室内有微振动控制要求的精密设备及仪器；
    - 宜采用运行平稳、低噪声的动力设备；
    - 动力管道宜在穿过洁净室墙板位置处设置隔振支吊架，在进入洁净室前宜设置柔性接头；
    - 动力管道应控制管道内介质的流速。

5.2.2 洁净室结构微振动控制

    洁净室结构微振动控制符合下列规定：
    - 洁净室地基基础宜建立在土质较坚硬或基岩埋藏较浅的地区；
    - 在洁净室内有微振动控制要求的精密设备及仪器区域，宜采用减小柱距、增加梁柱的截面尺寸和楼板厚度、设置剪力墙或支撑等增加刚度和质量的措施；
    - 应根据洁净度要求确定洁净室楼盖结构的气流开孔数量和尺寸；
    - 洁净壁板、高架地板应保证足够刚度。
5.2.3 精密设备及仪器微振动控制
    洁净室内精密设备及仪器微振动控制符合下列规定：
    - 精密设备及仪器可采用独立基础、刚性基台、隔振装置等措施；
    - 刚性基台上宜根据洁净度要求设置气流孔洞；
    - 采用隔振装置时，应评估洁净室内气流对隔振性能的影响；
    - 采用空气弹簧隔振装置时，应对气源和隔振装置进行净化处理；气源的洁净度等级不应低于洁净室要求。

6 材料要求

    6.1 洁净室内独立基础、刚性基台和隔振装置的表面材料应满足洁净室的相应洁净等级、防静电等要求，并对可能遇到的化学品应有耐受性，表面应易于清洁。
    6.2 洁净室内刚性基台、隔振装置与结构的连接材料以及检测和监测传感器与被测物体的固定材料应满足洁净室的相应洁净等级、防静电等要求。
    6.3 洁净室内刚性基台和隔振装置与结构的连接部位、隔振缝、隔振沟的填充和密封材料应满足洁净室的相应洁净等级、防静电等要求。

7 作业要求

    7.1 人员
    洁净室空态后进行微振动检测以及刚性基台和隔振装置的制作、搬运、安装和调试时，人员着装和行为规范应满足洁净室相应洁净等级要求。
    7.2 制作、搬运、安装等要求
    7.2.1 洁净室内预制刚性基台宜采用结构胶、环氧砂浆等方式与结构可靠连接，连接处应采用环氧涂层封闭。
    7.2.2 洁净室内独立基础与地面之间应填充并密封。
    7.2.3 洁净室内隔振缝、隔振沟应填充并密封。
    7.2.4 刚性基台和隔振装置的制作、搬运和安装宜在空态之前完成。安装完毕后，应用无尘布对刚性基台、隔振装置外表面进行擦拭。
    7.2.5 空态后洁净室内刚性基台和隔振装置的制作、搬运和安装符合下列规定。
    - 刚性基台和隔振装置的运输通道及作业区域应与周边环境进行物理隔离，在运输通道进入洁净室前宜设置洁净缓冲区。
    - 刚性基台和隔振装置的搬运及安装工具应采用洁净胶带包裹或涂漆等措施进行净化处理。采用气垫船时，气源还应满足相应洁净要求。
    - 打孔或打磨作业前应搭建洁净棚，并配备吸尘装置。
    - 高架地板宜在洁净室外进行切割。高架地板在洁净室内进行切割时，应搭建洁净棚，并配备吸尘装置。

8 检测和监测

    洁净室微振动检测和监测符合下列规定。
    - 洁净室的微振动检测宜包括场地环境、空态、静态、动态微振动检测。
    - 当因周边交通量增大、动力设备出现故障、施工等原因导致洁净室的微振动环境改变时，应对洁净室进行微振动检测。
    - 微振动检测结果应形成报告。检测报告应包括测试目的、检测时间、检测设备、检测工况、测点布置、数据分析、结论等内容。
    - 在洁净室动态阶段宜根据精密设备及仪器的微振动控制需求进行监测。
    - 检测和监测的设备及仪器在进入洁净室前应进行洁净处理，并采取措施避免产尘。

附录 A（资料性）典型精密设备及仪器容许振动值

    A.1 总则
    A.1.1 精密设备及仪器的容许振动值通常是以下形式之一：
    - 频域 1/3 倍频程的振动位移、振动速度、振动加速度均方根值；
    - 时域的振动位移、振动速度、振动加速度峰值；
    - 频域的功率谱密度值。
    在确定条件下，不同表达形式的容许振动值可相互转换。
    A.1.2 精密设备及仪器的容许振动值与性能参数、生产厂商、型号、生产工艺等因素相关，同一名称的精密设备及仪器存在不同的容许振动值。
    A.2 典型精密加工设备容许振动值
    A.2.1 典型精密加工设备的频域 1/3 倍频程容许振动